제목 포토리소그라피 방식을 이용한 스템퍼 제조방법 및 이 방법에 의해 제조된 스템퍼 작성일 15-06-24 09:38
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본 발명은 포토리소그라피 방식을 이용한 스템퍼 제조방법 및 이 방법에 의해 제조된 스템퍼, 그리고 상기 스템퍼를 이
용해 제조된 도광판에 관한 것으로써, 소정의 면적을 갖는 판상의 글라스(Glass) 상에 임의의 크기와 형상의 요철을 형성
시키는 단계와; 상기 요철이 형성된 상기 글라스 상에 포토레지스터(Photo Resist)를 도포하는 단계와; 상기 글라스 상면
에 도포된 포토레지스터(PR)층 위에 패턴이 형성된 포토마스크를 적층하는 단계와; 상기 포토마스크의 상부에서 상기 포
토레지스터를 경유, 상기 글라스를 향해 노광시키는 단계와; 노광 완료 후, 상기 포토마스크를 제거하고 노광된 상기 글라
스의 표면에 소정의 두께로 도금한 후, 이형(異形)시켜 마스터(Master)를 제작하는 단계와; 상기 마스터의 패턴 면에 대응
시켜 도금하고, 도금된 부분을 다시 이형(異形)시킴으로써 표면에 요철이 형성된 스템퍼를 제조하는 단계를 포함하는 것을
특징으로 한다.
이처럼 포토리소그라피 방식을 이용한 스템퍼 제조방법 및 이 방법에 의해 제조된 스템퍼, 그리고 상기 스템퍼를 이용해
제조된 도광판에 따르면, 빛의 휘도를 균일하게 유지하면서도 빛의 확산 효과가 증대될 뿐만 아니라 내구성이 향상되며,
패턴의 크기 및 높이 제어가 용이하고 재현성이 향상될 수 있다.

 
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